Неволин, В. К. Зондовые нанотехнологии в электронике [Электронный ресурс] / Неволин В. К. - Москва : Техносфера, 2014. - 174 с. - ISBN 978-5-94836-382-0 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): зондовая микроскопия -- зондовые нанотехнологии -- интегральная схема -- квантовая схема -- электроника -- электрохимический массоперенос Аннотация: Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века. Свободных экз. нет |