Баршутина, М. Н. Микромехатроника [Электронный ресурс] : учебное пособие / Баршутина М. Н. - Тамбов : Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2014. - 219 с. - ISBN 978-5-8265-1293-7 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): интегральное микрозеркало -- интегральный микродвигатель -- микромеханический ключ -- микромехатроника -- микронасос -- микросенсор давления -- микросенсор ускорения -- оптический микросенсор Аннотация: В учебном пособии широко охвачены различные аспекты микромехатроники и микросистемной техники. В книге детально рассмотрены такие вопросы, как история и перспективы развития микросистемной техники, структура и технологии изготовления микроэлектромеханических систем, а также различные сферы их применения. Книга предназначена для освоения дисциплины «Микромехатроника» студентами магистратуры, обучающимися по направлению 15.03.06 «Мехатроника и робототехника», а также может быть полезна аспирантам, инженерно-техническим и научным работникам соответствующих и близких специальностей. Свободных экз. нет |