Кручинин, Д. Ю. Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей [Электронный ресурс] : учебное пособие / Кручинин Д. Ю. - Екатеринбург : Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ, 2014. - 52 с. - ISBN 978-5-7996-1110-1 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): зеркальное покрытие -- маскирующее покрытие -- оптическая деталь -- оптическая шкала -- производство детали -- фотолитографическая технология -- фотолитографическое оборудование -- фотолитография -- фоторезист -- фотошаблон Аннотация: Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями. Доп.точки доступа: Фарафонтова, Е. П. Свободных экз. нет |