Бублик, В. Т. Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур [Электронный ресурс] : ионная имплантация. Учебное пособие / Бублик В. Т. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2013. - 67 с. - ISBN 978-5-87623-695-1 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): дифракционный метод -- ионная имплантация -- материал Аннотация: В пособии кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассмотренной в качестве основного инструментального метода. Содержание пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», предназначенному для подготовки магистров и бакалавров по направлению 150100 «Материаловедение и технологии материалов», а также по направлению подготовки аспирантов 01.04.10 «Физика полупроводников». Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 150100 «Материаловедение и технологии материалов», по специальности 150601 «Материаловедение и технология новых материалов». Доп.точки доступа: Щербачев, К. Д.; Воронова, М. И.; Мильвидский, А. М. Свободных экз. нет |