Орлова, М. Н. Наноэлектроника [Электронный ресурс] : курс лекций / Орлова М. Н. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2013. - 50 с. - ISBN 978-5-87623-725-5 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): кремний -- наноэлектроника -- техническое средство Аннотация: Рассмотрены физические и технологические основы наноэлектроники. Описаны подходы, позволяющие формировать элементы электронной техники в приборах и устройствах наноэлектроники. Проанализированы тенденции развития наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Курс лекций представляет собой практическое руководство для студентов и аспирантов технических вузов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника». Доп.точки доступа: Борзых, И. В. Свободных экз. нет |