Величко, А. А. Определение толщины эпитаксиальных слоев и ширины запрещенной зоны полупроводников методом ИК Фурье-спектрометрии [Электронный ресурс] : учебно-методическое пособие / Величко А. А. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2012. - 28 с. - ISBN 978-5-7782-1924-3 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): запрещенная зона -- определение толщины -- полупроводник -- фурье-спектрометр -- ширина зоны -- эпитаксиальный слой Аннотация: Дано краткое описание способа измерения ширины запрещенной зоны и толщины гетероэпитаксиальных узкозонных полупроводников методом определения спектральных зависимостей коэффициентов поглощения и отражения на ИК Фурье-спектрометре. В работе кратко изложена теория механизмов поглощения и отражения в полупроводниках. Дано описание ИК Фурье- спектрометра Nicolet 6700, изложена методика проведения эксперимента и обработки экспериментальных данных. Приведены контрольные вопросы и список рекомендованной литературы. Доп.точки доступа: Кольцов, Б. Б. Свободных экз. нет |