Кузнецов, Г. Д. Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны [Электронный ресурс] : учебное пособие / Кузнецов Г. Д. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2012. - 97 с. - ISBN 978-5-87623-572-5 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): ион -- твердое тело -- физика -- электрон Аннотация: Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии. Анализируются особенности взаимодействия электронов с тонкопленочными гетерокомпозициями, включая дефектообразование. Рассматриваются основы теории электронно-лучевого нагрева облучаемого электронами твердого тела. В каждой главе приводятся контрольные вопросы для проверки усвоения материала, темы практических занятий и индивидуальных домашних заданий. Учебное пособие подготовлено по рекомендации горно-металлургической секции PAEН. Соответствует программе курса «Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом». Предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника». Доп.точки доступа: Кушхов, А. Р. Свободных экз. нет |