Кузнецов, Г. Д. Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы [Электронный ресурс] : учебное пособие / Кузнецов Г. Д. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2012. - 128 с. - ISBN 978-5-87623-556-5 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): ион -- микроэлектроника -- наноэлектроника -- твердое тело -- элионная технология Аннотация: В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и наноиндустрии». Предназначено для магистров, специализирующихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнология и микросистемная техника», и может быть полезно обучающимся по направлению «Наноматериалы». Доп.точки доступа: Кушхов, А. Р.; Сергиенко, А. А.; Харламов, Н. А. Свободных экз. нет |