Гатчин, Ю. А. Введение в микроэлектронику [Электронный ресурс] : учебное пособие / Гатчин Ю. А. - Санкт-Петербург : Университет ИТМО, 2010. - 114 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): диагностический контроль -- интегральная схема -- литография -- микроэлектроника -- тонкая пленка Аннотация: В учебном пособии рассмотрены физические основы микроэлектроники, интегральные схемы и их технологии производства. Учебное пособие соответствует утвержденным учебным программам по направлениям 210202 — «Проектирование и технология электронно-вычислительных средств» для специалистов и 210200.05 — «Информационные технологии проектирования электронных средств» для магистров техники и технологии, а также 200100 и 200101 — «Приборостроение» для бакалавров и дипломированных специалистов. Предназначено для студентов и магистров факультетов КТиУ и ТМиТ, изучающих дисциплины «Физические основы микроэлектроники. Доп.точки доступа: Ткалич, В. Л.; Виволанцев, А. С.; Дудников, Е. А. Свободных экз. нет |