Каменская, А. В. Основы технологии материалов микроэлектроники [Электронный ресурс] : учебно-методическое пособие / Каменская А. В. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2010. - 96 с. - ISBN 978-5-7782-1420-0 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): выращивание монокристалла -- материал микроэлектроники -- полупроводниковое соединение -- технология материала Аннотация: В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направлений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 – «Нанотехнология» специальностей: 210104 – «Микроэлектроника и твердотельная электроника, 210108 – «Микросистемная техника». Свободных экз. нет |