45105

    Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II [Электронный ресурс] : учебное пособие. - [Б. м.] : Новосибирский государственный технический университет, 2014 - .Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II / Величко А. А. - 2014. - 227 с. - ISBN 978-5-7782-2534-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Режим доcтупа:
УДК
ББК 32.85

Кл.слова (ненормированные):
метод исследования -- микроэлектронный материал -- наноэлектронный материал -- электронная спектроскопия
Аннотация: Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».

(для доступа требуется авторизация)


Доп.точки доступа:
Филимонова, Н. И.
Свободных экз. нет