Родионов, Ю. А. Производство гибридных интегральных схем [Электронный ресурс] : учебное пособие / Родионов Ю. А. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2020. - 300 с. - ISBN 978-5-9729-0460-0 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): интегральная схема -- магнетронное нанесение -- фотолитография -- электрохимическое нанесение -- элементы гис Аннотация: Рассмотрены особенности изготовления гибридных интегральных схем: диэлектрическая подложка на основе низкотемпературной керамики, подвесные активные элементы, толстоплёночные пассивные элементы. Уделено внимание технологии и компоновке элементов. Приводятся конкретные примеры из производства гибридных интегральных схем. Изложены технические приёмы и оборудование монтажа навесных элементов. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов. Свободных экз. нет |