Липатов, Г. И. Компоненты микросистемной техники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Липатов Г. И. - Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. - 83 с. - ISBN 978-5-7731-0799-6 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): деформация -- микросистемная техника -- многослойная структура -- мэмс -- однослойная пластина -- электрод Аннотация: В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Компоненты микросистемной техники» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении». Свободных экз. нет |