Гапоненко, Н. В. Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель‒технологии и анодного окисления [Электронный ресурс] : учебное пособие / Гапоненко Н. В. - Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2019. - 152 с. - ISBN 978-5-9275-3182-0 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): алюминий -- кремний -- легирующий электролит -- оксидная пленка -- синтетический опал -- химия Аннотация: Междисциплинарное учебное пособие, предназначенное для факультативного изучения студентами магистратуры, обучающимися по направлениям подготовки «Техносферная безопасность», «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Конструирование и технология электронных средств». Рассмотрены основные закономерности образования, свойства и примеры использования золь-гель‒пленок легированных лантаноидами на планарных подложках и в мезоскопических порах пористого кремния, пористого анодного оксида алюминия и синтетических опалов, а также легированных фосфором или бором анодных оксидных пленок кремния, карбида кремния, нитрида кремния и легированных хлором ‒ меди (I). Доп.точки доступа: Милешко, Л. П. Свободных экз. нет |