Липатов, Г. И. Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения [Электронный ресурс] : учебное пособие / Липатов Г. И. - Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. - 85 с. - ISBN 978-5-7731-0798-9 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): метод -- микроэлектроника -- парогазовая фаза -- пленочный материал -- полупроводниковая техника -- ректификация Аннотация: В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»). Свободных экз. нет |