Родионов, Ю. А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике [Электронный ресурс] : учебное пособие / Родионов Ю. А. - Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. - 352 с. - ISBN 978-5-9729-0337-5 : Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- наноэлектроника -- полупроводник -- твердое тело -- технологический процесс -- физическая химия Аннотация: Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов. Свободных экз. нет |