Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий [Электронный ресурс] : учебно-методическое пособие / Рабинович О. И. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2015. - 89 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): микротехнология -- нанотехнология -- тонкая пленка -- химический метод -- электроника -- эпитаксия Аннотация: В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ. Доп.точки доступа: Рабинович, О. И.; Крутогин, Д. Г.; Подгорная, С. В.; Маренкин, С. Ф. Свободных экз. нет |