Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы [Электронный ресурс] : лабораторный практикум / Кузнецов Г. Д. - Москва : Издательский Дом МИСиС, 2007. - 141 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Режим доcтупа:
Кл.слова (ненормированные): гетероструктура -- диэлектрическая пленка -- металлическая пленка -- микротехнология -- нанотехнология -- электронная эмиссия Аннотация: Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках. Практикум предназначен для студентов и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника», специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Доп.точки доступа: Кузнецов, Г. Д.; Курочка, С. П.; Кушхов, А. Р.; Демченкова, Д. Н.; Курочка, А. С. Свободных экз. нет |