Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 64174 Автор(ы) : Бублик В. Т., Щербачев К. Д., Воронова М. И. Заглавие : Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Рентгеновская рефлектометрия : Учебное пособие Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2016 Колич.характеристики :84 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-87623-982-2: Б.ц. УДК : 62 ББК : 30.3 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): дифракционный метод--диффузное рассеяние--материал--приборная структура--рентгеновская рефлектометрия Аннотация: Кратко изложены теоретические основы метода рентгеновской рефлектометрии. Содержание пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники». Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для магистров, обучающихся по направлению 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники». Доп.точки доступа: Щербачев, К. Д.; Воронова, М. И.