Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 69545 Автор(ы) : Филимонова Н. И., Величко А. А., Фадеева Н. Е. Заглавие : Методы электронной микроскопии : Учебное пособие Выходные данные : Новосибирск: Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики, 2016 Колич.характеристики :61 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Цена : Б.ц. УДК : 62 ББК : 22.3 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): линза--микроскоп--пэм--сэм--электронная микроскопия--электронный пучок Аннотация: Учебное пособие «Методы электронной микроскопии» содержит подробное описание физических основ и экспериментальных методов электронной микроскопии определения физических и структурных свойств материалов. Рассматриваются вопросы применения данных методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», профиль «Интегральная электроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы диагностики и анализа микро и наноструктур». Доп.точки доступа: Величко, А. А.; Фадеева, Н. Е.