Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 62929 Автор(ы) : Сысоев И. А., Лунин Л. С. Заглавие : Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону : Монография Выходные данные : Ставрополь: Северо-Кавказский федеральный университет, 2015 Колич.характеристики :97 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-9296-0785-1: Б.ц. УДК : 539.21 ББК : 22.36 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): газовая фаза--градиентная эпитаксия--массоперенос--микроструктура--многокомпонентная гетероструктура--наноструктура--свойство гетероструктуры--твердый раствор--термодинамический анализ--тонкая зона Аннотация: В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений АIIIВV. Обсуждаются возможности получения различных микро- и наноструктур соединений АIIIВV с помощью ГЭ через газовую зону. Рассмотрено влияние различных технологических параметров (температура, температурный градиент, толщина зазора между источником и подложкой и т. д.) на свойства получаемых гетероструктур. Монография адресована магистрам, аспирантам и преподавателям, а также исследователям, работающими в области технологии полупроводниковых материалов соединений А3В5 с микро- и наноструктурой. Доп.точки доступа: Лунин, Л. С.