Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 26894 Автор(ы) : Неволин В. К. Заглавие : Зондовые нанотехнологии в электронике Выходные данные : Москва: Техносфера, 2014 Колич.характеристики :174 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-94836-382-0: Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): зондовая микроскопия--зондовые нанотехнологии--интегральная схема--квантовая схема--электроника--электрохимический массоперенос Аннотация: Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века.