Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 45189 Автор(ы) : Беркин А. Б., Василевский А. И. Заглавие : Физические основы вакуумной техники : Учебное пособие Выходные данные : Новосибирск: Новосибирский государственный технический университет, 2014 Колич.характеристики :84 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-7782-2424-7: Б.ц. УДК : 621.521 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): вакуумная техника--преобразователь давления--техника течеискания--физическая основа Аннотация: Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования. Доп.точки доступа: Василевский, А. И.