Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 73345 Автор(ы) : Хорин И. А. Заглавие : Технологии электронной компонентной базы : Учебное пособие Выходные данные : Саратов: Ай Пи Эр Медиа, 2018 Колич.характеристики :278 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-4486-0210-8: Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): компонентная база--нанотехнология--полупроводник--радиоэлектроника--технология Аннотация: В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».