Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 78558 Автор(ы) : Пархоменко Ю. Н., Пархоменко Ю. Н., Антипов В. В., Жуков Р. А., Кугаенко О. М., Петраков В. С. Заглавие : Выращивание кристаллов. Выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления : Лабораторный практикум Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2017 Колич.характеристики :54 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Цена : Б.ц. УДК : 621.793 ББК : 34.1 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кристалл--структура--схема Аннотация: Практикум включает в себя материал, необходимый для подготовки и проведения лабораторной работы по выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления по курсу «Выращивание кристаллов». Изложены основы теории магнетронного напыления, дано описание аппаратуры, методик напыления и оценки качества полученных кристаллических пленок. Цель лабораторного практикума – приобретение студентами теоретических знаний и практических навыков по напылению монокристаллических пленок с применением метода магнетронного распыления в постоянном и высокочастотном электромагнитном поле. В процессе выполнения лабораторной работы студенты осваивают теорию и метод выращивания кристаллических пленок путем магнетронного напыления, овладевают навыками выбора материала и подготовки подложки для эпитаксиальной кристаллизации, осваивают методику работы и напыляют пленки на установке магнетронного напыления SunPla-40, исследуют структуру и проводят анализ влияния технологических факторов на структуру и физические свойства выращенных кристаллических пленок. Лабораторный практикум предназначен для студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технология материалов» по программе «Кристаллы квантовой и оптической электроники». Доп.точки доступа: Антипов, В. В.; Жуков, Р. А.; Кугаенко, О. М.; Петраков, В. С.