Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 61116 Автор(ы) : Достанко А. П., Достанко А. П., Аваков С. М., Агеев О. А., Батура М. П., Бордусов С. В., Голосов Д. А., Джуплин В. Н., Завадский С. М., Клим О. В., Ланин В. Л., Мадвейко С. И., Мельников С. Н., Петухов И. Б., Ретюхин Г. Е., Русецкий А. М., Титко Д. С., Томаль В. С., Трапашко Г. А., Чередниченко Д. И., Школык С. Б. Заглавие : Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники Выходные данные : Минск: Белорусская наука, 2016 Колич.характеристики :252 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-985-08-1993-2: Б.ц. УДК : 621.382 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегрированный процесс--лазерная микрообработка--наноструктура--производство изделий--технологический комплекс--электроника Аннотация: Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности под ложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов. Доп.точки доступа: Аваков, С. М.; Агеев, О. А.; Батура, М. П.; Бордусов, С. В.; Голосов, Д. А.; Джуплин, В. Н.; Завадский, С. М.; Клим, О. В.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Мельников, С. Н.; Петухов, И. Б.; Ретюхин, Г. Е.; Русецкий, А. М.; Титко, Д. С.; Томаль, В. С.; Трапашко, Г. А.; Чередниченко, Д. И.; Школык, С. Б.; Достанко, А. П. \ред.\