Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 56052 Автор(ы) : Бублик В. Т., Бублик В. Т., Щербачев К. Д., Воронова М. И., Мильвидский А. М. Заглавие : Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур : Ионная имплантация. Учебное пособие Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2013 Колич.характеристики :67 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-87623-695-1: Б.ц. УДК : 62 ББК : 34.2 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): дифракционный метод--ионная имплантация--материал Аннотация: В пособии кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассмотренной в качестве основного инструментального метода. Содержание пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», предназначенному для подготовки магистров и бакалавров по направлению 150100 «Материаловедение и технологии материалов», а также по направлению подготовки аспирантов 01.04.10 «Физика полупроводников». Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 150100 «Материаловедение и технологии материалов», по специальности 150601 «Материаловедение и технология новых материалов». Доп.точки доступа: Щербачев, К. Д.; Воронова, М. И.; Мильвидский, А. М.