Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 62 Автор(ы) : Орлова М. Н., Борзых И. В. Заглавие : Наноэлектроника : Курс лекций Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2013 Колич.характеристики :50 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-87623-725-5: Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.84 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремний--наноэлектроника--техническое средство Аннотация: Рассмотрены физические и технологические основы наноэлектроники. Описаны подходы, позволяющие формировать элементы электронной техники в приборах и устройствах наноэлектроники. Проанализированы тенденции развития наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Курс лекций представляет собой практическое руководство для студентов и аспирантов технических вузов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника». Доп.точки доступа: Борзых, И. В.