Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 62 Автор(ы) : Рабинович О. И., Крутогин Д. Г. Заглавие : Основы технологии электронной компонентной базы : Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов. Лабораторный практикум Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2013 Колич.характеристики :42 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-87623-710-1: Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): компонентная база--тонкопленочный материал--электронная база Аннотация: В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначен для студентов, обучающихся по направлению 210100 в качестве бакалавров, инженеров и магистров, при выполнении лабораторных работ, подготовке дипломных работ и магистерских диссертаций. Доп.точки доступа: Крутогин, Д. Г. |