Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 63933
Автор(ы) : Королев А. П., Баршутин С. Н.
Заглавие : Автоматизация технологического проектирования РЭС : Учебное пособие
Выходные данные : Тамбов: Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2012
Колич.характеристики :77 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Цена : Б.ц.
УДК : 621.384
ББК : 32.85
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): автоматизация проектирования--диагностика наноструктур--интегральная микротехнология--моделирование микротехнологий--наноструктурный материал--проектирование рэс--технологическое проектирование--физико-топологическое проектирование
Аннотация: Рассмотрены вопросы моделирования интегральных микротехнологий, физико-топологического проектирования и процессы получения наноструктурных материалов для элементов РЭС. Предназначено для студентов специальности 210201 при изучении общеинженерного курса «Автоматизация технологического проектирования радиоэлектронных средств», магистрантов направления 150100 «Материаловедение и технологии материалов» при изучении курсов «Основы технологии покрытий» и «Электровакуумные технологии получения пленок и многослойных покрытий» и бакалавров направления 150100 при изучении курсов «Математическое моделирование процессов твердофазных технологий», «Технологические процессы микро- и наноэлектроники» и «Теория геретоструктур» всех форм обучения.

Доп.точки доступа:
Баршутин, С. Н.