Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 63933 Автор(ы) : Королев А. П., Баршутин С. Н. Заглавие : Автоматизация технологического проектирования РЭС : Учебное пособие Выходные данные : Тамбов: Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2012 Колич.характеристики :77 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Цена : Б.ц. УДК : 621.384 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): автоматизация проектирования--диагностика наноструктур--интегральная микротехнология--моделирование микротехнологий--наноструктурный материал--проектирование рэс--технологическое проектирование--физико-топологическое проектирование Аннотация: Рассмотрены вопросы моделирования интегральных микротехнологий, физико-топологического проектирования и процессы получения наноструктурных материалов для элементов РЭС. Предназначено для студентов специальности 210201 при изучении общеинженерного курса «Автоматизация технологического проектирования радиоэлектронных средств», магистрантов направления 150100 «Материаловедение и технологии материалов» при изучении курсов «Основы технологии покрытий» и «Электровакуумные технологии получения пленок и многослойных покрытий» и бакалавров направления 150100 при изучении курсов «Математическое моделирование процессов твердофазных технологий», «Технологические процессы микро- и наноэлектроники» и «Теория геретоструктур» всех форм обучения. Доп.точки доступа: Баршутин, С. Н. |