Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 13992 Автор(ы) : Орликов Л. Н. Заглавие : Технология приборов оптической электроники и фотоники : Учебное пособие Выходные данные : Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2012 Колич.характеристики :87 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Цена : Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.86 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): высокий вакуум--изготовление прибора--оптическая электроника--формирование нанослоя--фотоника Аннотация: В учебном пособии рассмотрены: подготовка к проведению технологического процесса изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технологичность изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технология получения высокого вакуума в производстве приборов оптической электроники; межфазные взаимодействия в технологии формирования приборов оптической электроники и фотоники; технология подготовки поверхности оптических материалов к технологическим процессам (очистка); методы формирования нанослоев для приборов оптической электроники и фотоники; процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов оптической электроники; основы технологии изготовления оптоэлектронных приборов. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика» по дисциплине «Технология приборов оптической электроники и фотоники».