Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 56182 Автор(ы) : Кузнецов Г. Д., Кушхов А. Р. Заглавие : Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны : Учебное пособие Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2012 Колич.характеристики :97 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-87623-572-5: Б.ц. УДК : 62 ББК : 22.3 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ион--твердое тело--физика--электрон Аннотация: Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии. Анализируются особенности взаимодействия электронов с тонкопленочными гетерокомпозициями, включая дефектообразование. Рассматриваются основы теории электронно-лучевого нагрева облучаемого электронами твердого тела. В каждой главе приводятся контрольные вопросы для проверки усвоения материала, темы практических занятий и индивидуальных домашних заданий. Учебное пособие подготовлено по рекомендации горно-металлургической секции PAEН. Соответствует программе курса «Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом». Предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника». Доп.точки доступа: Кушхов, А. Р.