Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 11516 Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г. И. Заглавие : Электромеханические микроустройства Выходные данные : Минск: Белорусская наука, 2012 Колич.характеристики :258 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-985-08-1419-7: Б.ц. УДК : 621.382 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): анодный оксид--метод получения--микроструктура--электромеханическое микроустройство Аннотация: Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения планарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах. Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным аппаратом. Для инженерно-технических и научных работников различных отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей вузов. Доп.точки доступа: Ефремов, Г. И.