Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 56649 Автор(ы) : Кузнецов Г. Д., Кузнецов Г. Д., Сергиенко А. А., Симакин С. Б., Курочка С. П., Курочка А. С. Заглавие : Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций : Учебное пособие Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2012 Колич.характеристики :122 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-87623-547-3: Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.84 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): гетерокомпозиция--микроэлектроника--наноэлектроника--неразрушающий метод--элионная технология Аннотация: В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы. По каждой теме приводится перечень контрольных вопросов для проверки усвоения материала и выдаются домашние задания с примером выполнения. Учебное пособие предназначено для магистров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника», «Нанотехнология и микросистемная техника» и может быть полезно обучающимся по направлениям «Наноматериалы» и «Физика». Доп.точки доступа: Сергиенко, А. А.; Симакин, С. Б.; Курочка, С. П.; Курочка, А. С.