Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 13950 Автор(ы) : Данилина Т. И., Чистоедова И. А. Заглавие : Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники : Учебное пособие Выходные данные : Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент, 2011 Колич.характеристики :96 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-91191-202-3: Б.ц. УДК : 621.382 ББК : 32.852 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): куф-диапазон--нанолитография--наноэлектроника--оптическая литография--уф-диапазон--эуф-диапазон Аннотация: Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинговая литография, технология наноразмерных структур и методы исследования с помощью сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), оборудование и методики применения СЗМ для технологических целей, технологии изготовления наноструктур с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB-технология), технология наноструктурирования, самоформирующиеся 3D-наноструктуры для приборов наноэлектроники и наномеханики. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ- диапазона и дискретных полупроводниковых приборов Доп.точки доступа: Чистоедова, И. А.