Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 47711 Автор(ы) : Геллер В. М., Хрусталев В. А. Заглавие : Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения : Монография Выходные данные : Новосибирск: Новосибирский государственный технический университет, 2011 Колич.характеристики :298 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-7782-1559-7: Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): высокочастотные технологии--плазма--электронное приборостроение Аннотация: Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении. Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго-и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов. Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы - плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны. Рассмотрены вопросы элементно-аппаратурного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона. Книга может представлять интерес для широкого круга технологов и конструкторов, работающих в области электронного приборостроения. Доп.точки доступа: Хрусталев, В. А.