Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 45490 Автор(ы) : Игнатов А. Н., Решетнева И. В. Заглавие : Химико-технологические основы микро и наноэлектроники : Учебное пособие Выходные данные : Новосибирск: Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики, 2011 Колич.характеристики :213 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Цена : Б.ц. УДК : 539.21 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника--наноэлектроника--химико-технологическая основа--электроактивный полимер Аннотация: Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлениям 210400-«Телекоммуникации», 210600 «Нанотехнологии», 210100 «Электроника и наноэлектроника», 211000 «Конструирование и технология электронных средств», 210700 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи». Доп.точки доступа: Решетнева, И. В.