Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 65811 Автор(ы) : Гатчин Ю. А., Гатчин Ю. А., Ткалич В. Л., Виволанцев А. С., Дудников Е. А. Заглавие : Введение в микроэлектронику : Учебное пособие Выходные данные : Санкт-Петербург: Университет ИТМО, 2010 Колич.характеристики :114 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Цена : Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.84 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диагностический контроль--интегральная схема--литография--микроэлектроника--тонкая пленка Аннотация: В учебном пособии рассмотрены физические основы микроэлектроники, интегральные схемы и их технологии производства. Учебное пособие соответствует утвержденным учебным программам по направлениям 210202 — «Проектирование и технология электронно-вычислительных средств» для специалистов и 210200.05 — «Информационные технологии проектирования электронных средств» для магистров техники и технологии, а также 200100 и 200101 — «Приборостроение» для бакалавров и дипломированных специалистов. Предназначено для студентов и магистров факультетов КТиУ и ТМиТ, изучающих дисциплины «Физические основы микроэлектроники. Доп.точки доступа: Ткалич, В. Л.; Виволанцев, А. С.; Дудников, Е. А.