Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 45129 Автор(ы) : Каменская А. В. Заглавие : Основы технологии материалов микроэлектроники : Учебно-методическое пособие Выходные данные : Новосибирск: Новосибирский государственный технический университет, 2010 Колич.характеристики :96 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-7782-1420-0: Б.ц. УДК : 621.38 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): выращивание монокристалла--материал микроэлектроники--полупроводниковое соединение--технология материала Аннотация: В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направлений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 – «Нанотехнология» специальностей: 210104 – «Микроэлектроника и твердотельная электроника, 210108 – «Микросистемная техника».