Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 46927 Автор(ы) : Иванов И. Г. Заглавие : Вакуумный практикум : Учебно-методическое пособие Выходные данные : Ростов-на-Дону: Южный федеральный университет; Ростов-на-Дону: Издательство Южного федерального университета, 20092009 Колич.характеристики :56 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-9275-0604-0: Б.ц. УДК : 533 ББК : 22.3 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): вакуум--вакуумная технология--молекулярный процесс--физика Аннотация: В пособии дается описание лабораторных работ практикума по физическим основам вакуумной техники, при выполнении которого студенты знакомятся с кинетикой различных молекулярных процессов в вакууме, с основными принципами получения и измерения малых давлений, а также основными принципами вакуумной тонкопленочной технологии. Рекомендуется в качестве методического руководства для студентов 2–3 курсов физических специальностей.