Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 67435 Автор(ы) : Ворзобова Н. Д., Денисюк И. Ю. Заглавие : Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем : Учебное пособие Выходные данные : Санкт-Петербург: Университет ИТМО, 2008 Колич.характеристики :77 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Цена : Б.ц. УДК : 535 ББК : 32.81 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): голография--литография--микроструктура--оптика--физика--фотоника Аннотация: В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем, основанные на методах оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получения элементов и структур микронных, субмикронных и нано-размеров. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика», а также студентов других оптических и информационных специальностей Доп.точки доступа: Денисюк, И. Ю.