Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 56129 Автор(ы) : Кузнецов Г. Д. Заглавие : Технология материалов электронной техники. Атомно-молекулярные процессы кристаллизации : Учебно-методическое пособие Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2006 Колич.характеристики :99 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. Цена : Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кристаллизация--электронная техника--эпитаксия Аннотация: Рассматриваются теоретические вопросы процессов роста объемных монокристаллов и пленок на атомно-молекулярном уровне. Анализируются существующие представления о механизме формирования кристалла с учетом начальных стадий его зарождения. Обсуждаются и анализируются особенности кристаллизации при различной движущей силе процесса. Описаны особенности молекулярно-лучевой эпитаксии. По большинству рассматриваемых разделов приводятся примеры расчетов параметров процесса кристаллизации. Для студентов обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 658300 «Нанотехнология», 150702 «Физика металлов» и специальностям 210104 «Микроэлектроника и твердотельная микроэлектроника» и 202100 «Нанотехнология в электронике». |