Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 45105 Автор(ы) : Величко А. А., Филимонова Н. И. Заглавие : Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II: Учебное пособие. Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II Выходные данные : : Новосибирский государственный технический университет Б.м., 2014 Колич.характеристики :227 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-7782-2534-3: Б.ц. УДК : 621.382 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): метод исследования--микроэлектронный материал--наноэлектронный материал--электронная спектроскопия Аннотация: Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур». Доп.точки доступа: Филимонова, Н. И.