Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 45104 Автор(ы) : Филимонова Н. И., Кольцов Б. Б. Заглавие : Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Сканирующая зондовая микроскопия. Часть I: Учебное пособие. Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Сканирующая зондовая микроскопия. Часть I Выходные данные : : Новосибирский государственный технический университет Б.м., 2013 Колич.характеристики :134 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-7782-2158-1: Б.ц. УДК : 621.385 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронный материал--наноэлектронная структура--сканирующая микроскопия--зондовая микроскопия Аннотация: Пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Экспериментальные методы исследования и метрология», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем», и студентов, обучающихся по направлению 210100 «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур». Доп.точки доступа: Кольцов, Б. Б.