Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 13990 Автор(ы) : Орликов Л. Н. Заглавие : Технология материалов и изделий электронной техники. Часть 1Технология материалов и изделий электронной техники. Часть 1: Учебное пособие: Учебное пособие. Технология материалов и изделий электронной техники. Часть 1 Выходные данные : : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники Б.м., 2012 Колич.характеристики :98 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-7782-1941-0978-5-9227-0420-1: Б.ц. УДК : 621.387 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): технология материала--электронная техника--микроэлектроника--автоматизация процесса--диффузионное явление--поверхностное явление Аннотация: В учебном пособии рассмотрены основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники. В том числе кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах; физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-лучевой и лазерной технологии; основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазменной, твердотельной и микроэлектроники; основы автоматизации процессов производства электронных приборов и устройств; эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования. Большинство разделов содержит математические модели для инженерных расчетов. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «Технология материалов и изделий», «Вакуумная и плазменная электроника», «Оптическое материаловедение». Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении курсов «Технология приборов оптической электроники и фотоники», «Специальные вопросы технологии», а также при выполнении курсовых и дипломных работ.