Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 93336 Автор(ы) : Липатов Г. И. Заглавие : Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : Учебное пособие Выходные данные : Воронеж: Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019 Колич.характеристики :85 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-7731-0798-9: Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.84 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): метод--микроэлектроника--парогазовая фаза--пленочный материал--полупроводниковая техника--ректификация Аннотация: В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»).