Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 87896 Автор(ы) : Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П. Заглавие : Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : Учебное пособие для СПО Выходные данные : Саратов, Екатеринбург: Профобразование, Уральский федеральный университет, 2019 Колич.характеристики :49 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-4488-0454-0, 978-5-7996-2891-8: Б.ц. УДК : 68 ББК : 22.3 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): зеркальное покрытие--оптическая деталь--оптическая шкала--топология--фотолитография Аннотация: В учебном пособии изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал, рассматриваются оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Учебное пособие предназначено для изучения дисциплин «Оборудование и технология обработки оптических деталей», «Технология изготовления оптических деталей» по укрупненной группе специальностей и профессий среднего профессионального образования 12.00.00 «Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии». Доп.точки доступа: Фарафонтова, Е. П.; Дерябина, В. А. \ред.\