Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 95792 Автор(ы) : Светличный А. М., Житяев И. Л. Заглавие : Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения : Учебное пособие Выходные данные : Ростов-на-Дону, Таганрог: Издательство Южного федерального университета, 2018 Колич.характеристики :96 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-9275-3097-7: Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): лазер--микроструктура--нанотехнологии--полупроводниковая структура--суперконденсатор--фотонный поток Аннотация: В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии». Доп.точки доступа: Житяев, И. Л.