Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 87516 Автор(ы) : Светличный А. М., Житяев И. Л. Заглавие : Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : Учебное пособие Выходные данные : Ростов-на-Дону, Таганрог: Издательство Южного федерального университета, 2017 Колич.характеристики :104 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-9275-2395-5: Б.ц. УДК : 621.373 ББК : 32.847 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): лазерная планаризация--лазерное легирование--микротехнология--нанотехнология--пленка вольфрама--полупроводниковая поверхность--технологический процесс--фотонная обработка--фотонно-стимулированный процесс--фотонное излучение Аннотация: В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии». Доп.точки доступа: Житяев, И. Л.