Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 98215 Автор(ы) : Астахов В. П., Леготин С. А., Кузьмина К. А. Заглавие : Основы технологии электронной компонентной базы : Практикум Выходные данные : Москва: Издательский Дом МИСиС, 2016 Колич.характеристики :53 с Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks. ISBN, Цена 978-5-87623-964-8: Б.ц. УДК : 62 ББК : 32.85 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диффузия--ионная имплантация--компонентная база--микроэлектроника--наноэлектроника--технологический процесс Аннотация: Содержит описание трех практических занятий, в которых изучаются такие процессы создания приборных структур наноэлектроники, как термическое окисление, диффузия и ионная имплантация. Ставит перед собой задачи объяснить физическую сущность используемых в микро- и наноэлектронике технологических процессов, научить комплексному научному подходу к выбору методов и процессов формирования электронной компонентной базы, а также освоить методики расчета параметров технологических процессов. Результатом обучения должно быть приобретение компетенций по основным базовым процессам технологии для применения их в научных исследованиях, разработке и производстве изделий микро- и наноэлектроники. Практикум является составной частью курса «Основы технологии электронной компонентной базы» для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Доп.точки доступа: Леготин, С. А.; Кузьмина, К. А.